半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高品质首测配套设施涉重生产废水——MVR强硬循环系统零排品牌
工作题材
半导体材料行业中低端首测項目,占比150m³米/天,是首只半导体材料行业首测配合涉重生活污水零排項目。首测方面的镀镍、镀铜、引线知识体系家电清洗会引起含镍含铜生活污水,居民小区让"无尾水外排",产水全部的回收利用于产线。
水污染功能与问题
污水以含镍居多(盐浓度10–100毫克/升),伴一点铜、锌,pH跌涨大(2–12),还在光刻胶农药残留的一点有机的物。公测厂场景紧,想要治理 装置征占小;零排是因为着浓水不会建筑垃圾清运太满,一定原生蒸发掉晶粒开环。
整理工学艺自驾路线
建筑体走"分质获得 → 预解决除杂 → 化学式凝固除镍 → 脱水 → UF+有级RO → MVR强硬循坏减压蒸馏 → 冷却水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药氢脱色物钠导出Ni(OH)₂发展,另加加硫橡胶钠宽度气体吸附残余物镍(加硫橡胶镍Ksp比氢脱色物镍更小,也能镍压到0.1毫克/升以内);
沉淀物满水后经多媒介吸附+保安队长吸附后进UF,再进特级RO,产水一直回产线除污;
RO浓水(含盐+的残留物高价属)进MVR立即无限循环系统蒸馏器,立即无限循环系统能扛高含盐水垢,蒸馏器自身带有网上除污,不方便堵;
MVR空调汽化器水重回使用水池子,汽化残液委外燃烧或为危废处理预防,一整块作业区无气态外排。
关键所在装置益处解释
MVR被迫配置不同于一般的降膜汽化器,配置气速高、换热面不方便结镍盐/碳酸盐垢,適合公测在这种"用水量不高但饮用水质杂"的场境;分立式化撬装的设计占地面比传统的汽化器塘+多效汽化器方案设计小60%上面的;有害气体侧配建生物制品滤池,把调结池和生活污水间的有害气体汇集后光降解成CO₂和水,杜绝公测厂邻近办公楼区的有味道网络投诉。
治理 视觉效果与盈利能力
有水出镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《真空镀膜被污染的物摆放规范》表三;大部分150m³米/天产水回收于公测产线家电清洗,带替等量新鲜度水;垃圾(蒸发器残液+污泥干化)量比常用"沉淀自己+摆放"格局减约70%。对富士康侧,公测工作环境保护监管卡点被揍通;