沈阳某半导体行业心片我们厂，晶圆生产制作的时候中带来含硅、氟的特色废水处理工艺工作工艺，来设计工作规模较1200吨/日。废水处理工艺工作工艺材料很复杂，包含纳米级级硅粒状及氢佛酸，民俗工作技巧难于标准。 工业废水组成成分及从何而来 重要空气挥发性有机物 ：胶体溶液硅（100-500nm孔径）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 源环节 ：晶圆刻蚀废水处理处理（45%）、CMP电学机械性磨光废水处理处理（40%）、机器设备喷洗水（15%） 操作方法流程图 科技创新主要采用"普通机械凝固+重型膜提取"工艺规划： 钙盐乳浊液 ：污泥脱水氯化钙消除氟阴离子（导出CaF2沉淀自己） 斜板沉淀池反馈 ：组合二沉池剂满足电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪用微细颗粒状 反浸入设计 ：脱盐率>98%，收集率75% 汽化凝结 ：浓水段构建氟化物临“0”排放出 然后效率 氟化物含量：<8mg/L（大于國家考试内容一级规范标准10mg/L） 硅含氧量：<5mg/L 水材料回收利用率：70%广泛用于冷却后塔皮肤补水 危废处理减轻药量：汽化沉渣量较传统性工艺流程削减60%