某半导研发公司企业因晶圆洗涤工艺程序引起含氨废污水，容量200吨/天。废污水下除挥发酚外还有效氟化物和进样器巨资属，加工处理分值大。偏远地区排出规定规定挥发酚＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 成分表及收入 晶圆刷洗废污水（包括来历）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺生活污水：含进样器铜、镍等血本属，pH值浮动大 CMP考虑生产废水：含硅顆粒及氯离子 治理 鑫霖环保过程 采取"化学物质沉垫+膜溶合+折点氯化"组合式工艺设备： 预进行处理 ：加药系统CaCl2除氟，操作pH在7.5-8. 超滤膜控制系统 ：祛除0.01μm上面科粒物 反渗透膜性和精炼 ：将氯离子精炼至1000mg/L综上所述 折点氯化 ：正确保持氯添加量，将氟化物还原成为惰性气体 阴离子对调 ：保驾护航天价属及格 从而感觉 高锰酸盐指数维持＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含量小于加测限 水回收率达75% 淤泥引发量抑制40%