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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某光电器件集成块造成厂在晶圆生产制作时中,采用硅烷对其进行硅概念植物生长,废气洗衣塔呈现高氨水浓度含硅废渣。废渣有pH起伏较大大(2-11)、硅浓度高的优点,老式处置的方式易突然出现硅垢梗塞问題。 废水处理方法因素及由来 生产废水最主要基本成分为: 溶解度性硅酸盐 :SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢氧化的钠 :洗衣塔酸碱度洗衣液留 颗粒状硅 :納米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :原石钙镁离子进入 进行处理技艺步骤 创新发展主要包括"多级与+膜活性炭过滤+减压蒸馏晶体"工艺技术: 3级采和 :用CaO的调节pH至4-5,生产硅酸钙沉垫,硅的还原率60%。 中级结合 :加Na₂CO₃将pH改善至9,进一步推动骤沉淀自己剩于硅,并接用镁剂除砷。 反渗透装置系统 :0.02μm瓷质膜吸附奈米级硅粉末,通量比较稳定在80LMH。 MVR汽化器 :浓缩咖啡高盐污水,凝结出Na₂SO₄副產品,水循环率超90%。 以后视觉效果 总硅从1500mg/L下降5mg/L下面 砷含量的从0.8mg/L降落到0.01mg/L 平台无积垢加载不低于2年 年年利用浓盐酸钠纳米线约800吨

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