某光电器件集成块造成厂在晶圆生产制作时中,采用硅烷对其进行硅概念植物生长,废气洗衣塔呈现高氨水浓度含硅废渣。废渣有pH起伏较大大(2-11)、硅浓度高的优点,老式处置的方式易突然出现硅垢梗塞问題。
废水处理方法因素及由来
生产废水最主要基本成分为:
溶解度性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢氧化的钠
:洗衣塔酸碱度洗衣液留
颗粒状硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:原石钙镁离子进入
进行处理技艺步骤
创新发展主要包括"多级与+膜活性炭过滤+减压蒸馏晶体"工艺技术:
3级采和
:用CaO的调节pH至4-5,生产硅酸钙沉垫,硅的还原率60%。
中级结合
:加Na₂CO₃将pH改善至9,进一步推动骤沉淀自己剩于硅,并接用镁剂除砷。
反渗透装置系统
:0.02μm瓷质膜吸附奈米级硅粉末,通量比较稳定在80LMH。
MVR汽化器
:浓缩咖啡高盐污水,凝结出Na₂SO₄副產品,水循环率超90%。
以后视觉效果
总硅从1500mg/L下降5mg/L下面
砷含量的从0.8mg/L降落到0.01mg/L
平台无积垢加载不低于2年
年年利用浓盐酸钠纳米线约800吨