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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆工作线设施的超注射用水模式,一整天生产含硅生活污水150吨。生活污河中虽无血本属,但硅含量高易结渣,且功率电阻率需符合18MΩ·cm才制造业废水加工处理。原本有加工处理工学艺没法满足了新出台的《电子技术制造业水生态破坏物污染物出标准单位》(GB39731-2020)很污染物出规定值。 化工废水基本成分结构特征 通常环境大气污染物 :固体硅(200-300mg/L)、颗料硅(孔径0.1-1μm) 特殊的要 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 饮用水质性能指标 :低电阻率(<50μS/cm)但硅有机化合物状态复杂化 治疗鑫霖环保步奏 转型升级选择"梯级膜分离处理+电去化合物"组合式生产技术: 微滤预治理 :1μm淘瓷膜短信拦截大顆粒硅,通量确保80LMH 正离子对调聚酯树脂 :D201大孔硅胶粘合剂选性气体吸附硅酸碳原子 一级RO系统软件 :1、段收购 率60%,然后段利用高脱硼膜元器件封装 EDI电去铝离子 :感应电流密度计算公式2A/m²,维持清除残留阴阳离子 UV紫外线杀菌消毒 :254nm分光光度计线分子量40mJ/cm² 高技术突出 发展专门阻硅剂(有机的胺类复合材料物),延迟膜影响时间是3倍 EDI电源模块研发流道设定,硅去掉率优化至99.8% 在线上硅数据检测仪(检测的的范围0.1-500μg/L)保持招商精准控住 启用成效明显 经三是方查测: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼水平从8μg/L高于0.3μg/L 操作系统回收处理率从原40%改善至68% 膜拆换时间是延长至至5年,年作业费用下降35%

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